仪器设备
仪器名称
三靶磁控溅射仪
联系人
贡丽英, 张涛
生产厂家
沈阳科晶自动化设备有限公司
邮箱
gongliying@tiangong.edu.cn
型号
VTC-600-3HD
电话
15022388262
购买日期
2018/12/05
主要规格和技术参数
VTC-600-3HD/2HD三/双靶磁控溅射仪
主要功能及特色
可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。
主要附件及配置
本设备配置三/二个靶枪，一个配射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两/一个配直流电源用于导电性材料的溅射镀膜，同时可实现三/二种不同材料的共同溅射或轮流溅射。
测试结果展示