绝缘体分析
高性能光谱
深度剖析
多技术整合
双模式离子源,使深度剖析功能得到扩展
用于 ARXPS 测量的倾斜模块
用于仪器控制、数据处理和报告的 Avantage 软件
小光斑分析
元素的定性分析;可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素;
元素的定量分析:根据能谱图中光电子谱线强度(光电子峰的面积)反应原子的含量或相对浓度;
固体表面分析:包括表面的化学组成或元素组成,原子价态,表面能态分布,测定表面电子的电子云分布和能级结构等;
化合物的结构:可以对内层电子结合能的化学位移精确测量,提供化学键和电荷分布方面的信息。
ISS:离子散射谱,分析材料最表面1-2原子层元素信息,通过质量分辨可分析一些同位素丰度信息。
UPS:紫外光电子能谱用于分析金属/半导体材料的价带能级结构信息以及材料表面功函数信息
REELS:反射电子能量损失谱可用于H元素含量的检测以及材料能级结构和带隙信息