仪器设备
仪器名称
热场发射扫描电子显微镜(B109)
联系人
王志芳
生产厂家
卡尔蔡司
邮箱
wanzhifang@tiangong.edu.cn
型号
GeminiSEM 50003040702
电话
15522087483
购买日期
2018/12/03
主要规格和技术参数
分辨率：0.6nm@15kV；1.1nm@1kV；1.4nm@500V
加速电压：0.02~30kV
束流：3pA~20nA
放大倍数：12~2,000,000X
电子枪：热场发射肖特基电子枪，束流稳定性由于0.2%/h
主要功能及特色
显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区化学成分检测等
主要附件及配置
特征X射线能谱仪（牛津 ultimMax 100），范围 Be4～Cf98（Aztec软件）分辨率 Mn 优于127，C 优于 56，F 优于65，（实测是 124/47/55）范围4-98，晶体活区面积 100mm2
测试结果展示
