XY方向扫描范围:50 μm × 50 μm;Z方向扫描范围:6 μm;化学成像分辨率:10 nm;光谱采集范围:800~1800 cm-1;光谱采集分辨率:1 cm-1;光谱采集速度:<10 s/spectrum。
1. Contact AFM 接触模式原子力形貌测量;
2. Tapping AFM 轻敲模式原子力形貌测量;
3. Contact AFM-IR 接触模式纳米红外图谱测量;
4. Tapping AFM-IR 轻敲模式纳米红外图谱测量;
5. NanoTA 微区纳米热学(熔点)测量;
6. CAFM 微区导电性测量;
7. KPFM 微区表面电势测量。
1. 卓越的红外光谱和原子力显微镜集成性能;
2. 基于共振增强技术可实现数秒内的快速光谱采集;
3. 采集的光谱与FTIR具有很高的匹配程度;
4. 具有突破光学衍射极限的10 nm化学成像空间分辨率;
5. 可同时获得微区形貌和化学信息,还可获得微区的力学、热学、电学等信息。