仪器设备
仪器名称
聚焦离子束电子束双束显微镜(B109)
联系人
王志芳
生产厂家
卡尔蔡司
邮箱
wangzhifang@tjpu.edu.cn
型号
crossbeam 55003040111
电话
15522087483
购买日期
2018/03/15
主要规格和技术参数
SEM
肖特基热场发射源
分辨率：1.6nm@1KV，0.9nm@15KV
加速电压：0.02-30KV
放大倍数：12X-2，000，000X
束流：10pA-40nA
FIB
分辨率：〈3nm（多边统计法）
LMIS 液态金属Ca离子源：3000uAh
束流：1pA-100nA
加速电压：0.5-30KV
放大倍数：300X-500,000X
两级静电式透镜
探测器
Inlens EsB,二次电子二次离子探测器，STEM（扫描投射探测器）
主要功能及特色
功能：1. 截面制作及成像 2. TEM样品制备 3. 微纳加工 4. 三维重构；
特色：1.无交叉光路设计 2. 动态加工可实时观测 3. 高效率样品制备。
主要附件及配置
气体：单支GIS，Pt,C
纳米机械手
软件配置：Atlas二维自动拼图和三维重构软件，ORS三维数据处理软件
能谱仪EDAX：
能量分辨率：优于127eV，元素分析范围：Be4-Am95
测试结果展示
