X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um 垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz） X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz） X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz） Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz） 整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值 样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径≤210mm, 厚度≤15mm 电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。 显微镜光学系统：五百万像素数字照相机 180um至1465um可视范围 数字缩放及自动对焦功能

终极体验 独特的传感器设计，在闭环条件下，也能实现大样品台、针尖扫描的AFM具有与开环噪音水平一样的低噪音水平，且具有极高的扫描分辨率 高效率 XYZ闭环扫描器的完美设计，使仪器在较高扫描速度工作时，也不降低图像质量，具有更大的数据采集效率

可用测试液体环境下原子力