分辨率:0.6nm@15kV;1.1nm@1kV;1.4nm@500V
加速电压:0.02~30kV
束流:3pA~20nA
放大倍数:12~2,000,000X
电子枪:热场发射肖特基电子枪,束流稳定性由于0.2%/h
显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区化学成分检测等
特征X射线能谱仪,EDAX Octane Super型号
采用电制冷,场效应管内置,Octane Super晶体有效检测面积60平方毫米;分析元素范围:Be4-U92;能量分辨率(Mn-Ka):优于127eV;在0~200kcps范围内的分辨率稳定性:> 90% ;能量分辨率和死时间实时显示;可处理最大计数率1,600,000CPS,最大输出计数率800,000CPS;